Påføring av molybdenkapillær i ALD-prosessen

Forløpergassinjeksjonsrør: ALD-utstyr krever vanligvis presis levering av-metallorganiske forløpere (f.eks. TMA, TDMAH, etc.) og reaksjonsgasser (f.eks. O3, H2O, NH3) til reaksjonskammeret. På grunn av deres lille indre diameter (vanligvis i området 0.2- 2 mm) og jevn veggtykkelse, er molybdenkapillærer mye brukt som injeksjonsrørledninger nær sprøytehodet, noe som kan oppnå rask gassrespons og presis fordeling.

Pulsventil nedstrøms leveringsrør: Etter å ha byttet ventilen raskt, kan molybdenkapillæren effektivt holde på gass og pulshale, og sikre en høy grad av dosekonsistens i hver syklus.
Høy-temperaturisolasjon og beskyttelsesrør: Noe ALD-utstyr må plasseres nær høy-temperaturbasen. Molybdenkapillærrøret tåler driftstemperaturen på 500-1200 grader, og vil ikke frigjøre metallioner for å forurense filmen.

Høy temperaturstabilitet: ALD-prosessen utføres ofte ved 200-500 grader eller enda høyere temperaturer. Vanlige rør av rustfritt stål eller kvarts er utsatt for partikler eller deformering under bruk, mens kapillærrør av molybden kan fungere stabilt.

Høy renhet og lav nedbør: Molybden med høy renhet (over 99,95%) har ekstremt lavt urenhetsinnhold og vil ikke introdusere karbon, oksygen og andre elementer som påvirker de elektriske egenskapene til filmen i reaksjonsgassen.

Utmerket termisk ledningsevne og termisk sjokkmotstand: Kan raskt følge temperaturendringer i hulrommet, kondensering eller nedbrytning av forløpere.

Høy dimensjonsnøyaktighet: Toleranser for indre diameter og veggtykkelse er strengt kontrollert for å sikre konsistensen av gassstrømmen mellom forskjellige hulrom, noe som er spesielt viktig for masseproduserte- wafere i stor størrelse (som 300 mm).

Ved avsetning av høy-k gatedielektrikk (HfO2, ZrO2), metallporter, barrierelag (TiN, TaN) og nye 2D-materialer, kan bruken av molybdenkapillærer forbedres betydelig:
-filmtykkelse uniformitet (Innenfor-Wafer Uniformity)
-inter-repeterbarhet
-Utstyrets driftssyklus (vedlikehold på grunn av forurensning av rørledningen)

For tiden prioriterer noen avanserte modeller fra internasjonale ordinære ALD-utstyrsleverandører (som ASM, Veeco, LAM, osv.), samt avanserte prosessproduksjonslinjer for mange innenlandske fabrikker, molybdenkapillærer i viktige gassbaner.

Selv om molybdenkapillæren bare er en liten del av ALD-systemet, er det direkte relatert til "last mile"-nøyaktigheten og påliteligheten av gasslevering. I dag etterstreber ALD-prosessen i økende grad høy ensartethet, lave defekter og høy ytelse, og den har blitt en viktig støtte for å sikre stabiliteten til prosessen.

Hvis du er i ferd med ALD-utstyrsvalg, transformasjon eller prosessoptimalisering, velkommen til å oppgi spesifikke krav til forløpertype, driftstemperatur og rørdiameter; Jeg kan hjelpe deg med å analysere nøkkelpunktene i utvalget på en mer målrettet måte.