Molybdenmål for RF-sputtering

May 29, 2026

Legg igjen en beskjed

 

Forespørsel fra Aisa Kunde

Vi mottok et tilbud via selskapets nettsted i morges, kunden kommer fra det asiatiske markedet, og han er interessert i produktet vårt angående høyrent molybden-radiofrekvens(RF)-sputteringsmål.

Kundens produktspesifikasjon er en 50,8 mm (2 tommer) diameter, 5 mm tykk molybdenmetallmål med en renhet på 99,95 % (3N5).

At molybden-sprutmålformen han spurte er et flatt sirkulært molybdenmål, det er den vanligste formen på runde molybdenmål.

Og hans flathet forespørsel var flathet Mindre enn eller lik 0,05 mm, og trenger også overflaten glatt arbeid egnet for RF magnetron sputtering; og ingen sprekker, porer på overflaten eller oksidasjon som forespørsel.

 

00322018-06-21FC5964DF

Hvilke rene molybdenmålprodukter kan vi tilby?

 

• Renhet: 3N5 (99,95 % renhet) - 4N (99,99 % renhet)

- Mo1: Større enn eller lik 99,95 % Mo (3N5), primært brukt til industrispor, for eksempel skjerm / solceller / generelt belegg

- Mo2: Større enn eller lik 99,9 % Mo (3N), hovedbruk for kostnadseffektiv-for generell belegg/dekorasjonsfilm

- Mo3: Større enn eller lik 99,5 % Mo (2N5), mye brukt for lave-applikasjoner/forskningsapplikasjoner

- Høy ren / ultra høy renhet (4N molybden: 99,99 %), brukes hovedsakelig til halvledere / OLED / høy-presisjonsfilmer

 

Grunnleggende fysiske egenskaper (mest kritiske)

 

• Tetthet: 10,2 g/cm³ (teoretisk) ,Få porer, ikke lett å produsere 'pulverspraying' og unormal utladning (bue)

• Smeltepunkt: 2620 grader, ekstremt stabil termisk; og ikke lett deformeres under sputtering med sterk vedheft.

• Termisk ledningsevne: 138–142 W/(m·K), rask varmespredning raskt og bra for sputtering med høy-effekt

• Termisk ekspansjonskoeffisient: ~4,9×10⁻⁶/grad, svært lav, og kan resultere i minimalt termisk sjokk og dimensjonsstabilitet

• Resistivitet: ~5,2 μΩ·cm, meget god elektrisk ledningsevne og stabil lysbuedannelse

• Strekkfasthet ~540 MPa

. Vickers hardhet ~250 HV, med visse duktilitetsprosesser og tynnfilmsfordeler

• Målkorn 50–100 μm, sikrer jevn sputtererosjon og minimal partikkelavgivelse

 

 

 

Normal størrelsestoleranse for vårt produkt varierer i henhold til forskjellige diametre som følger

Diameter Tykkelse
φ25.4(1") 2/3
φ50.8(2") 3/5
φ76.2(3") 3/4/5
φ101.6 4/5/6
φ150 5/6/8
φ200 6/8/10

Vær oppmerksom på:φ300 - tykkelse 8/10/12 mm , eller tilpasset .

 

 
 
Dimensjonstoleranser (GB/T 14592-2014 + industristandard)
Diameterområde Diametertoleranse (mm)
φ10-30 ±0.10
φ30-50 ±0.14
φ50-80 ±0.16
φ80-300 ±0.20

Please note :  >φ300: ±0,30 (omsettelig)

Form- og posisjonstoleranser (viktig kritisk, som påvirker sputterens enhetlighet)

 


•Molybdenskivens flathet: Mindre enn eller lik 0,03 mm/100 mm (høy-ende); Mindre enn eller lik 0,1 mm/100 mm (standard)
• Rundhet: Mindre enn eller lik 0,05 mm
• Parallellisme: Mindre enn eller lik 0,05 mm

Ren molybden overflateruhet


• Standard: Ra Mindre enn eller lik 0,8 μm
• Høy-end: Ra mindre enn eller lik 0,4 μm (halvleder / høye enhetskrav)

 

FAQ

 

Bortsett fra Molybden sputtering mål du kan gi, andre materialer kan gjøre ?

Ja, vi har wolfram, molybden, titan, tantal, niob, zirkonium, nikkel osv. ikke-jernholdige metaller.

 

Sende bookingforespørsel